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事故响应：火灾时，使用水、泡沫、干粉、二氧化碳灭火。泄漏时，迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。 　　安全储存：远离火种、热源。避免阳光直射，保管在通风良好的场所。

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不该在关闭空间内用惰性气体（如氮气、等）进行实验率剖析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。在也许形成回流的运用场合，运用设备上有必要配备避免倒灌的设备，如单向阀、止回阀、阻火器等。一切运用瓶的用户有必要在减压器出口部位接装单向阀和阻火器以避免回流及回火，一起在氧气瓶减压器出口部位接装单向阀以避免气回流。

通常，高纯气体系指气体中含较少杂质气氛(纯度)，微量水份(干燥度)污染物粒子的娄量保持在低限度，其粒度也应是小的(洁净度)。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净是三项重要的标度。

特别是近10年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，其重要程度已不亚于对纯度和干燥度有严格要求的用气工艺，无一不对其中的粒子提出限制。

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废气处理的基本原则和要求废气处理的基本原则是，先将废气变成***、不燃的状态，然后再进行废物处理，一般要求是，尽量减少或避免对***的危害和对环境的污染。废气处理的几种基本方法：燃烧法 吸收法、吸附法 稀释法,燃烧法 此法适用于处理各种可燃性气体，它是将***物质通过燃烧转化成无害或危害少的物质，或者转化成便于捕促的形式。燃烧法还可分为与空气混合直接燃烧的方法和借助催化剂氧化的方法。