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特种气体(Specialty gases)：指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着近年来工业、科学研究、自动化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展而发展起来的。

高氧在机械零件的冷装配工艺中，常常采用干冰做冷源。而且，较用液氮做冷源更具可操作性。在农业生产中，大棚种植花卉、蔬菜时，施放二氧化碳肥，采用干冰可以实现定时、定量施放。我们生活中看到的很多表演活动都会用到干冰，它可用于制造舞台、影视的云雾效果，被文艺界广泛采用。干冰用于工业清洗，可较好的去除模具等工业设备上的积垢。是目前及未来干冰大的用途之一.

干冰即固体CO2，雪白色的块状结晶(或粉状)，无光泽，不透明，在7453Pa压力下其升华温度为-78．5℃，当干冰升华为0℃气体时每公斤干冰可以吸取热量为636kJ，它的冷冻能力为冰的2倍，所以干冰是一种低温冷却剂。当它作冷冻剂时，不变成液体，而是变成CO2气体。由于干冰具有这种特性，可被用作食品，水果运输、仓库储存方便，优良的冷却剂。使用干冰清洗机进行模具清洗，工业清洗，还可以明显改善传统清洗的二次污染和安全性的问题，实现在线清洗，清洗。目前国内干冰清洗机技术已经得到长足发展。

高纯气金属的切割和焊接：氢一氧焰、氧一焰在机械工厂中对板材、容器的切割、焊接。氧一丙烷焰切割可提高切割面的光洁度。高纯气体代替了部分零件的铸、锻、铣、创。利用的惰性，在电孤焊时用作保护气体，可防止被空气氧化、氮化、钛、钼及合金和不锈钢等。金属热处理：氮是一种中性气体。在非活化状态下，氮可用作保护加热，防止钢铁的氧化、脱碳，因而广泛地用于光亮淬火、光亮退火、光亮回火等热处理工艺中。在真空热处理时，集中供气常作为冷却介质使用；充氮加压油淬时，液态气体既可保护真空炉的电热元件，又可通过调节集中供气压力，提高钢件的淬硬性。在一定电压和低真空状态下，氮会电离，可进行离子渗氮和离子氮碳共渗。