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排气速度：在材料冶炼过程中形成的管材晶界或晶格内部存在氮、烃等杂质，高纯气体传输过程中这些杂质缓慢释放，污染高纯气体。 特别是杂质要求为ppb以上的高纯度气体。 通常低碳不锈钢管的排气速度很低。吸附性：水分等杂质是极性分子，因此吸附性强。 橡胶、塑料或表面粗糙的材料容易吸附水分等杂质，铜材对水的吸附性非常强，用这些材料输送高纯气体容易受到污染。 输送ppm以下氧气除紫铜管外，高纯气体不使用铜管和塑料管。 气体接触的垫片、填充剂也不得使用橡胶、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。

工业氧气是用于工业生产和产品加工的气体，其质量要求一般要求纯度符合99%以上。充装规程不像氧气那样严格，经常会有水分和其他杂质混入钢瓶中并残留在钢瓶中，混入和残留在钢瓶中的水分会导致氧气瓶内壁腐蚀，从而使气瓶中的气体产生异味。